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Hitachi日立高新全自动型原子力显微镜5500M

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更新时间:2020-08-19

简要描述:

Hitachi日立高新全自动型原子力显微镜5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。

Hitachi日立高新全自动型原子力显微镜5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。

Hitachi日立高新全自动型原子力显微镜5500M特点
1. 自动化功能
高度集成自动化功能追求高效率检测,降低检测中的人为操作误差

2. 可靠性
排除机械原因造成的误差,大范围水平扫描
采用管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧运动所产生的曲面,通常通过软件校正方式获得平面数据。但是,用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响,图片上经常发生扭曲效果。
AFM5500M搭载了新研发的水平扫描器,可实现不受圆弧运动影响的准确测试。

高精角度测量
普通的原子力显微镜所采用的扫描器,在竖直伸缩的时候,会发生弯曲(crosstalk)。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。
AFM5500M中搭载的全新扫描器,在竖直方向上不会发生弯曲(crosstalk) ,可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。

 

3. 融合性
亲密融合其他检测分析方式
通过SEM-AFM的共享坐标样品台,可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌,结构,成分,物理特性等。

上图是AFM5500M拍摄的形貌像(AFM像)和电位像(KFM像)分别和SEM图像叠加的应用数据。
    通过分析AFM图像可以判断,SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。
    石墨烯层数不同导致表面电位(功函数)的反差。
     SEM图像对比度不同,可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。
与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。
 
注:该仪器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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