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Hitachi日立高新扫描电镜FlexSEM 1000

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更新时间:2020-08-19

简要描述:

Hitachi日立高新扫描电镜FlexSEM 1000
日立高新技术公司于2016年4月15日在全球发布了新型扫描电子显微镜——FlexSEM 1000。该产品结构紧凑,占地面积小,但分辨率不输大型电镜,同时操作极其简便,几乎不用培训就可操作。紧凑型设计,分辨率为4 nm。

Hitachi日立高新扫描电镜FlexSEM 1000

日立高新技术公司于2016年4月15日在全球发布了新型扫描电子显微镜——FlexSEM 1000。该产品结构紧凑,占地面积小,但分辨率不输大型电镜,同时操作极其简便,几乎不用培训就可操作。紧凑型设计,分辨率为4 nm。

 扫描电子显微镜可对材料的表面进行高倍率观察及高精度元素分析,在纳米技术、生命科学、产品设计研发及失效分析等领域有着广泛的应用。 近年来,扫描电镜观察表面精细结构及元素分析的需求日趋增加,而越来越多的用户希望能在生产线、品保检验线和办公区等有限的空间里使用扫描电子显微镜。因此,体积小、操作简便、分辨率高的扫描电子显微镜备受关注。FlexSEM 1000主机宽450mm、长640mm,相比SU1510型号体积减小52%,重量减轻45%,功耗减小50%,且配备标准化的电源接口。主机与供电单元可分离,安装非常灵活。

FlexSEM 1000采用新设计的电子光学系统和高可靠性、高灵敏度的探测器,分辨率高达4nm。FlexSEM 1000有多种自动化功能,操作简便,即便是初次操作者也能快速拍出高质量图像。另外,新开发的导航功能「SEM MAP」可使用各种光学图片或电镜照片进行导航,一键就快速准确地切换至感兴趣的高倍率视野。

Hitachi日立高新扫描电镜FlexSEM 1000特点:
a. 通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察
b. 操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片
c. 新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野
d. 大窗口(30 mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*2
*1     设置在桌面时,分离主机和电源箱
*2     选配

 

项目内容
分解能*34.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)
加速电压0.3 kV ~ 20 kV
放大倍率6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (显示倍率)
低真空模式真空范围:6 ~ 100 Pa
电子枪预对中钨灯丝
样品台3-轴自动马达台
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°
最大样品尺寸直径80 mm
最大样品高度40 mm
尺寸主机:450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供电单元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm
探测器选配
  • 高灵敏度低真空二次电子探测器(UVD)

  • 能量分散型X线探测器(EDS)

 

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