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Hitachi日立高新场发射扫描电镜SU9000
日立SU9000超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。
日立高新超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU9000是专门为电子束敏感样品和需大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。
新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
0.4nm / 30kV（SE）
1.2nm / 1kV（SE）
0.34nm / 30kV（STEM）
用改良的高真空性能和的电子束稳定性来实现高效率截面观察。
Hitachi日立高新场发射扫描电镜SU9000
采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。
