Hitachi日立高新扫描探针显微镜控制器标准配备改良过的测量参数自动调整功能，以及简单明了的图形用户界面。因此，即使是刚刚接触SPM的人，或者测量某种全新的样品时，也能取得具有较高再现性的数据。

Hitachi日立高新扫描探针原子力显微镜5300E是一款环境型原子力显微镜，它的环境控制单元可以使样品在大气中、真空中、溶液中等环境中进行测量。AFM5300E还具有高低温控制功能，可以检测温度对样品表面形貌和物理特性的影响。

Hitachi日立高新全自动型原子力显微镜5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。